中微公司获得发明专利授权：“带温度维持装置的隔离环”

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证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“带温度维持装置的隔离环”，专利申请号为CN201911106901.8，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本发明公开了一种带温度维持装置的隔离环，设置于等离子体处理装置内，等离子体处理装置包括由多个壁围成的反应腔，反应腔的上部设置有用于引入气体至反应腔内的气体喷淋头，反应腔的下部设置有用于承载基片的基座，气体喷淋头与基座之间形成有对基片进行处理的等离子体，隔离环环绕于气体喷淋头并限制等离子体于隔离环所设有的壁体内，隔离环包括靠近等离子体的内隔离环及环绕内隔离环的外隔离环，内隔离环与外隔离环之间设置有温度维持装置，用于保持内隔离环温度以防止聚合物沉积于内隔离环表面，此带温度维持装置的隔离环可持续保持高温而有效抑制聚合物的产生。

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今年以来中微公司新获得专利授权58个，较去年同期减少了7.94%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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